Vacuum Laminator

Vacuum Laminator
3차원 TSV Packaging 공정에서 NCF를 Void, 열변형 및 Bump의 파손 없이 Wafer에 부착하는 장비로 Vacuum Chamber 내에서 기압 차에 의한 Diaphragm 팽창을 이용하여 필름을 Lamination 한다
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