FPD 제조장비 모듈 제조

FPD 제조장비 모듈 제조
고객 맞춤형 TFT 제조 공정 장비(Deposition/Etch) 모듈을 개발, 생산한다.
제품 상세정보

 

For TFT Line
 - TFT-PECVD Module Line System
 - TFT-Sputter Module Line Syster
 - TFT-Dry Etch Module Line System

 

               

 

Clean Conveyor System
 - Magnetic Conveyor
 - Diverter / Turning Device
 - Centering / Turning Tilting Device
 - Shuttle Worth Clean Conveyor
 - Clean Line for Wafer / FPD Series